等離子體診斷技術(shù)是隨著等離子體科學(xué)的進(jìn)展而發(fā)展起來(lái)的。20世紀(jì)初，開始觀測(cè)宇宙等離子體。20年代，為了研究氣體放電，開創(chuàng)了實(shí)驗(yàn)室等離子體診斷。從50年代起，在受控?zé)岷朔磻?yīng)和空間技術(shù)研究的推動(dòng)下，等離子體診斷的研究進(jìn)入全盛時(shí)期。

　　等離子體診斷的測(cè)量范圍：

　　同一種等離子體參量可用不同的測(cè)量方法測(cè)量，以便相互印證。各種測(cè)量方法有其不同的適用范圍，如測(cè)量離子溫度的方法有線光譜的多普勒寬度、電磁波的集體散射、高能中性粒子能譜分析、聚變中子測(cè)量等方法。一般高溫時(shí)可用中性粒子或中子測(cè)量來(lái)測(cè)定離子溫度，低溫低密度時(shí)可用多普勒寬度來(lái)測(cè)定離子溫度，低溫高密度時(shí)可用集體散射方法來(lái)測(cè)出離子溫度。

　　等離子體診斷是集物理學(xué)和技術(shù)科學(xué)為一體的技術(shù)。通過對(duì)等離子體物理過程的理解來(lái)確定要測(cè)的等離子體參量并選定適用的測(cè)量方法；測(cè)得的結(jié)果又需要用等離子體物理知識(shí)加以分析，揭示測(cè)量結(jié)果所反映的物理現(xiàn)象。